真空燒結爐首要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體維護燒結及慣例燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構思新穎，操作便利，結構緊湊，在一臺設備上可完結多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。接著跟俺一同看看真空燒結爐遇到以下三種狀況能夠采納的應急辦法。
停電時，假如斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設備，持續(xù)工作如需求較長時刻，則將設備保持原狀。
假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設備，假如需求較長時刻時，則保持原狀，讓設備天然冷卻下來。加熱電源掉電、水壓低，當水壓低于0.15MPa,壓力表報警，真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處有必要銜接結實，與反射屏絕緣要好。
若爐內壓力為13.3-66.5Pa時（此真空度容易發(fā)生放電）。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因能夠以為因為電介質擊穿而引起的放電。抽真空開端前，氣體充入時刻長或許無法充入時，請承認氣體管路是否被阻塞。
如氣體管路沒問題，查看電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯(lián)的設備要悉數(shù)中止后再進行查看。向真空室內充氣不能中止的狀況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要封閉氣體供應閥及配管在內的一切氣體體系。
